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检测升降式烧结炉的炉衬厚度的三种方法
发布时间:2019-06-25   点击次数:21次
   升降式烧结炉主要用于半导体元器件及电力整流器件的烧结工艺,可进行真空烧结,气体保护烧结及常规烧结。是半导体专用设备系列中一种新颖的工艺装备,它设计构思新颖,操作方便,结构紧凑,在一台设备上可完成多个工艺流程。亦可用于其他领域内的真空热处理,真空钎焊等工艺。
  升降式烧结炉炉衬是个比较重要的部分,烧结炉的质量的好坏和厚薄对于电炉的使用有比较大的影响。炉衬是指用于对金属进行精炼的炉子的炉壁,使用耐高温陶瓷制成。烧结炉炉衬的使用寿命直接影响了烧结炉的整体使用寿命。
  检测升降式烧结炉的炉衬厚度有以下几种方法:
  应力波法:应力波动信号对结构缺陷有很高的敏感性,当应力波在介质传播时,如遇到孔洞、裂纹等界面不连续处,就会发生反射、折射、散射和模式转换,利用应力波的特性可以确定冷却壁材料的厚度。
  电容法:电容法与电阻法类似,在炉衬内部埋设同轴圆形电容器传感器,电容值与其长度成对应关系,可以通过测量电容值来确定高炉砌体的厚度。通过这些方法,对炉衬的一些基本数据和性能有了初步的判断和坚定,对电炉的大体的工作状况有些概括的了解。
  电阻法:是在升降式烧结炉炉衬内部埋设电阻元件,传感器前端与炉衬内表面对齐,通过引线与测量系统相连接,电阻元件的电阻值与其长度相关,随着电阻元件与炉衬同步损耗,电阻会变化,利用相应的测量仪表测得元件输出的电信号,即可在线测量炉衬的剩余厚度。
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